電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)備及工器具設(shè)計要求如下：

1. 潔凈室（區(qū)）內(nèi)應(yīng)采用具有防塵、防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備，并應(yīng)符合下列要求：

      （1）表面應(yīng)光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì)；

      （2）設(shè)備的傳動部件等應(yīng)密封性能好，并應(yīng)防止?jié)櫥汀⒗鋮s劑等的泄漏；

      （3）對生產(chǎn)中發(fā)塵、排熱量大或排出有毒、可燃?xì)怏w的設(shè)備，應(yīng)采取防擴散措施，

      （4）設(shè)備的金屬外殼應(yīng)設(shè)置接地設(shè)施。

2. 當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室（區(qū)）時，宜采取密封隔斷措施。

3. 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時，應(yīng)采取隔聲措施。

4. 潔凈室（區(qū)）應(yīng)設(shè)置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。

5. 潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用專用容器。用于存放和傳送的專用容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1）制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；

      （2）應(yīng)密封性能好；

      （3）當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；

      （4）構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運送。

6. 潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時，應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1）使用油潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)；

      （2）對傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過爆炸下限的20％時，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分；

      （3）傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。