一、電子工業(yè)潔凈廠房微振控制一般規(guī)定

1. 潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計(jì)、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì)、動力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等。

2. 設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時，應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1） 總平面布置時，應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動影響；

      （2）設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)；

      （3）對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動隔振措施；

      （4） 潔凈室（區(qū)）內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動影響時，應(yīng)采取被動隔振措施。

二、電子工業(yè)潔凈廠房容許振動值

1. 微振動控制設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)精密儀器、設(shè)備的特性，采取綜合隔振措施，并應(yīng)滿足容許振動值的要求。

2. 精密設(shè)備、儀器的容許振動值物理量的表述，應(yīng)采用時間域或頻率域的振動加速度、振動速度和振動位移等。

3. 精密儀器、設(shè)備的容許振動值，應(yīng)由制造商提供。無法確定時，可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性確定。

三、電子工業(yè)潔凈廠房振動控制設(shè)計(jì)要求

1. 潔凈廠房的微振動控制設(shè)計(jì)，應(yīng)按下列階段進(jìn)行微振動測試分析：

      （1） 場地環(huán)境振動測試及分析；

      （2） 潔凈廠房建筑結(jié)構(gòu)振動特性測試及分析；

      （3） 精密設(shè)備、儀器安裝地點(diǎn)環(huán)境振動測試及分析；

      （4） 微振動控制的最終測試及分析。

2. 有微振動控制要求的潔凈室（區(qū)），其建筑結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1） 建筑物基礎(chǔ)宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度；

      （2） 應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔；

      （3） 主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動控制的要求，適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。

3. 有強(qiáng)烈振動的設(shè)備和管道，宜采取主動隔振措施，并應(yīng)符合下列要求.

      （1） 宜采用隔振臺（座）；

      （2） 應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?/p>

      （3） 通往潔凈室（區(qū)）的管道，宜采取隔振支（吊）架、柔性連接等隔振措施。

4. 潔凈室內(nèi)精密設(shè)備、儀器的被動隔振措施的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：

      （1） 隔振臺（座）應(yīng)具有足夠的剛度；

      （2） 應(yīng)采用低剛度隔振設(shè)施；

      （3） 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0.15；

      （4） 隔振臺（座）應(yīng)采取傾斜校正措施；

      （5）隔振設(shè)施不應(yīng)影響氣流流型，

      （6） 當(dāng)采用空氣彈簧隔振器時，其供氣系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行凈化處理，并應(yīng)達(dá)到潔凈室空氣潔凈度等級的要求。