工業潔凈室的潔凈度級別是以潔凈室內單位體積空氣中大于等于某一粒徑的懸浮粒子允許數量來規定的。如前所說，隨著潔凈技術的發展，各國的標準也在不斷發展。以前工程界習慣采用的是美國聯邦標準FS-209系列。

表1 FS-209E潔凈度級別

      表1是1992年頒布的FS-209E，它同時采用了英制和國際單位制（立方英尺ft³和立方米m³）。

      該標準以空氣中大于等于0.5 μm粒徑的粒子允許數量為分級標準，當采用國際單位時，等級的名稱為每立方米空氣中最大允許粒子數的常用對數值（以10為底），例如：每立方米空氣中大于等于0.5μm粒徑的最大允許粒子數為3530顆，而3530的常用對數值為3.55，所以命名為M3.5級；若采用英制單位，同一級別折算到每立方英尺空氣中大于等于0.5μm粒徑的最大允許粒子數為100顆，則命名為100級。

      有些工程根據工藝需要需控制的粒徑不在上表給出的數值內，可以根據所提供的線算圖或換算式進行換算，由于該標準已經不再使用，故不作詳述，需要者可以參看有關資料。