高純度、高潔凈度氣體管道的施工，不同于一般工業管道，稍有疏忽便可能破壞氣體的質量。因此要理解安裝工作對保證氣體質量的重大意義，嚴格遵守設計、施工要求，工作嚴肅認真、一絲不茍，高度重視各個細小環節，建成符合要求的管路系統。潔凈廠房高純氣體輸配管道安裝施工外觀的檢查工作要求做到以下幾個方面：
（1）管路系統的管材、閥門及所有附件，嚴格按設計要求選用，不得隨意更改或代換。
（2）所有管材應放在室內精心保管，不得露天堆放、日曬和風吹雨淋。
（3）管段端頭要有塑料或橡膠密封罩加以密封，不得脫落、破裂。
（4）管子、管件、閥門等使用前，詳細進行下列外觀檢查：
1）無裂紋、縮孔、折迭、重皮等缺陷。
2）無銹蝕、蝕斑等現象。
3）管子平直、圓滑、無局部凹陷，無刮傷、擠壓等缺陷。
4）管材內表面的“粗糙度”是否符合設計要求，螺紋處密封、保護是否良好。
5）外購成品“內表面超光滑潔凈管”要有出廠合格證及相關等級證書和資質證明。應隨機抽樣作顯微鏡下檢驗，必須符合設計要求。
6）成品內表面超光滑潔凈管，外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施是否符合要求。
7）法蘭的密封面應當平整、光滑，不得有毛刺及徑向溝槽，凸凹法蘭應當能夠自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的深度。
8）橡膠、塑料等非金屬墊片，應當質地柔軟、無老化及分層現象，表面不得有折損、皺紋等現象。金屬墊片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表面不得有裂紋、毛刺、凹槽、徑向劃痕和銹斑等缺陷。
