電子工業潔凈廠房常用氣體系統設計要求如下：

1.常用氣體供應系統宜在工廠內或鄰近處設置制氣裝置或采用外購液態氣體、瓶裝氣體。

2. 氫氣、氧氣管道的終端或最高點應設置放散管。氫氣放散管口應設置阻火器。放散管引至室外，應高出本建筑的屋脊1m，并應采取防雨、防雜物侵人的措施。

3. 氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：

      （1）氣體純化裝置應根據氣源和產品生產工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇；

      （2）氣體純化裝置宜設置在氣體純化間（站）內。當潔凈廠房設有氣體人口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；

      （3）各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間（站）內。若有特殊要求時，也可根據具體要求分別設置在各自的氣體純化間內；

      （4）氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。

4. 進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設置在氣體入口室。

5. 氣體純化間（站）或氣體入口室內，設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災危險性應按甲類確定，并應符合下列規定：

      （1） 應靠外墻設置，并應設置防爆泄壓設施；

      （2） 氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動切斷閥；

      （3） 應具有良好的自然通風，并應設置事故排風裝置；

      （4） 應設置氣體泄漏報警裝置，并應與事故排風裝置聯鎖；

      （5） 應設置導除靜電的接地設施。

6. 潔凈廠房內的氧氣管道等，應采取下列安全技術措施：

      （1） 管道及閥門、附件應經嚴格的脫脂處理；

      （2） 應設置導除靜電的接地設施；

      （3） 氧氣引入管道上應設置自動切斷閥。

7. 各種常用氣體的氣瓶庫應集中設置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過1瓶時，氣瓶可設置在潔凈室（區）內，但應采取不積塵和易于清潔的措施。

8. 氣體管道和閥門應根據產品生產工藝要求選擇，宜符合下列規定：

      （1） 氣體純度大于或等于99999999％時，應采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門應采用隔膜閥；

      （2） 氣體純度大于或等于99.999％、露點低于-76℃時，宜采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管或內壁電拋光的不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；

      （3）氣體純度大于或等于99.99％、露點低于-60℃時，宜采用內壁拋光的不銹鋼管，除可燃氣體管道   宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥；

      （4）氣體管道閥門、附件的材質宜與相連接的管道材質一致。

9. 氣體管道連接，應符合下列規定：

      （1） 管道連接應采用焊接，

      （2） 不銹鋼管應采用氬弧焊，宜采用自動氬弧焊或等離子熔融對接焊；

      （3） 管道與設備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；

      （4） 管道與設備的連接應符合設備連接的要求。當采用軟管連接時，宜采用金屬軟管。