電子工業潔凈廠房干燥壓縮空氣系統設計要求如下：

1. 潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定，并應符合下列規定：

      （1） 供氣規模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應設有一定的備用供氣量；

      （2） 供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定；

      （3） 供氣系統可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站；

      （4） 應選用能耗少、噪聲低的設備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機；

      （5）含水量要求嚴格時，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。

2. 干燥壓縮空氣管道內輸送露點低于-76℃時，應采用內壁電拋光低碳不銹鋼管或內壁電拋光不銹鋼管；露點低于-40℃時，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。

3. 管道連接應符合下列規定：

      （1） 宜采用焊接，不銹鋼管應采用氬弧焊；

      （2） 含水量露點嚴于-40℃時，用于管道連接的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；

      （3） 當采用軟管連接時，宜采用金屬軟管。